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ピラミッド型回折装置を備えた裏面照射型CMOS撮像画素における近赤外線の像面位相差検出

机译:配备金字塔衍射仪的背照式CMOS成像像素中的近红外图像平面相差检测

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摘要

Si(111)面を利用したピラミツド型回折装置を裏面照射型CMOSイメージセンサの受光面に選択的に配置して,波長850nmの入射光の像面位相差を検出する技術を提案する.本論文の基本概念は,画素を金属遮光膜で覆わずに,ビラミッド型回折装置により発生する選択的光トラッピングに起因する量子効率の増分を利用して瞳分割をすることである.画素半分を金属遮光膜で覆う従来の瞳分割と同等な像面位相差検出が可能であることを3次元Finite-difference time-domain method (FDTD)法による光学シミュレーションに基づいて実証する.
机译:我们提出了一种通过在背面照明的CMOS图像传感器的光接收表面上使用Si(111)平面选择性地布置金字塔衍射仪来检测波长为850 nm的入射光的图像平面相位差的技术。通过利用维拉米德衍射仪产生的选择性光阱引起的量子效率增量来划分光瞳,而不会用金属阴影膜覆盖像素,一半的像素是金属阴影,我们将证明有可能基于三维有限衍射时域方法(FDTD)的光学模拟,可以检测出与覆盖有薄膜的传统光瞳分区等效的像面相位差。

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