キャリア空乏型マッハ・ツェンダシリコン変調器における光位相シフタのコンパクトモデルの提案およびパラメータ抽出

摘要

シリコンフォトニクスの設計段階において，歩留予測を可能にする回路シミュレーションを実現するためには，コンパクトモデルの確立が不可欠である．しかし，変調器の光位相シフタのバイアス依存性を考慮したモデルは未だ存在せず，ウェーハ面内ばらつきを考慮したパラメータ抽出も報告されていない．