マルチパターン埋込型位相シフト法に基づく高速3 次元計測の高精度化

摘要

本稿では，6 軸調整機構を備えた新たな同軸ユニットを導入した計測システムに基づき，3 次元形状計測を行った．また，精度をさらに向上させるために，本システムに特化したノイズ低減手法を提案した．同手法に基づいた計測結果を従来の手法と比較して計測精度が向上したことを示した．