10MHz以下のバンドギャップを持つフォノニック結晶の作製と評価

摘要

MEMS(Micro electro mechanical system)を用いたセンサはスマートフォン，自動車をはじめ我々の身の回りの様々なデバイスに用いられている．MEMS センサの利点は高分解能化，量産化，低価格化，小型・軽量化など様々であるが，本稿では，それらの利点の中から高分解能化に着目する．高分解能化によって，従来のセンサでは計測できなかった物理量の検知ができるようになり，新たな物理現象の発見につながる等，高分解能化の有用性は大きい．MEMS センサの中でも振動子の共振を利用したセンサは力計測や圧力計測に用いられており[1][2]，これらの分解能は振動子のQ値に依存する．例として力センサを考える．力センサで検出可能な最小の力はQ値を用いて以下の式(1)で表される[3]．