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New type thin film vacuum sensor using the short circuit seebeck-current detection type thermocouple

机译：利用短路塞贝克电流检测型热电偶的新型薄膜真空传感器

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来源
《Sensing Technology, 2008 3rd International Conference on》||P.414-417|共4页
会议地点
作者
Noriaki Takashima; Kimura Mitusteru;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类工业技术;
关键词
SOI; cantilever; microheater; temperature sensor; thermocouple; vacuum sensor;

机译：SOI;悬臂梁;微加热器;温度传感器;热电偶;真空传感器;

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