球電極ESDに伴う電極近傍過渡電磁界分布の測定

摘要

球電極ESDに伴う過渡磁界の電極近傍分布ならびに過渡電界ピーク値の距離特性について実験的に検討を行つた。過渡磁界は公称帯域6 GHzのシールデットプローブのプローブ補正係数を20 GHzまで求め，測定電圧の過渡磁界値への換算を行った。また，過渡電界の測定では10 GHz帯域において概ねフラットな感度特性を有する光電界プローブシステムを用いて測定を行った。