Micro-TAS用脱着可能な水晶複素容量センサの開発

摘要

近年、Micro-TAS(Micro Total Analysis System)を用いた化学•生化学分析の実現に向けた研究が盛hにおこなわれている。Micro-TASとは、化学分析を行う際に必要となる多くの装置をMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)技術によつて小型化することで小さな一枚のチップ上にすべて集積することを目標としたデバィスである。Micro-TASが実現することによって持ち運び可能かつ、小型な分析装置を作製することが可能になり、実地調査や簡易調査に使用されることが期待されている。しかし、既存の検出装置は流路チップと比較してとても大きく、Micro-TASの目標としている可搬な分析装置の実現に向けて開発の余地がある。例えば、既存装置の例として分光蛍光光度計が知られているが、感度はとても高いが装置が大型かつ高価である。