Nanotechnology; atomic layer deposition; purge flow rate; deposition rate; thin film.;
机译:通过反应器规模模拟研究多出口粘性流反应器中的原子层沉积特性
机译:原子层沉积过程的反应堆规模模拟
机译:通过反应堆规模模拟改善原子层沉积工艺
机译:四极孔质谱仪的整合和石英晶体微稳定的77V原位表征流动式反应器中的原子层沉积工艺
机译:原子层沉积的反应堆规模模拟
机译:通过原子层沉积制备的各种衬底和ZnO超薄种子层对ZnO纳米线阵列生长的影响的研究
机译:连续横流原子层沉积反应器设计的放大分析