Nanopositioning; Actuators; Effective mass; Resonant frequency; Force; Electrodes; Mathematical model;
机译:五轴整体纳米定位阶段的感应和分散控制
机译:使用集成传感器的单片压电纳米定位平台的跟踪控制。
机译:6自由度单片纳米定位平台的设计与分析
机译:由Bimorph压电片构成的五轴单片纳米定位阶段
机译:基于范围的双级系统控制:用纳米定位阶段的应用设计与分析
机译:基于Mark-Segmented PI模型的往复线性电压下压电纳米定位阶段的磁滞补偿
机译:基于标记分段PI模型的往复线性电压下压电纳米定位阶段滞后的补偿
机译:压电纳米定位平台的非线性最优跟踪控制