極低周波微小磁界変動に対する増分透磁率の計測法と自動計測システム

摘要

半導体デバイス製造の分野や，医療分野などにおいて，高度な磁気シールドが求められる場合，磁気特性の優良なパ一マロイ，又はミューメタルと呼ばれる鉄ニッケル軟磁性材料が用いられている。それらの磁気シールド材料の性能評価には多くの場合，日本規格協会によって規定されている直流磁気特性における初比透磁率川，という指標が用いられている。