elemental semiconductors; masks; photoresists; silicon; sputter etching;
机译:在基于HBr / O2的高密度等离子体的多晶硅/氧化物蚀刻中,HBr和氧对蚀刻选择性和蚀刻后轮廓的作用的研究
机译:在先进的硅蚀刻系统中控制缺陷率
机译:自蚀刻裂缝密封胶与传统裂缝密封胶与全蚀刻或自蚀刻粘合剂系统的微渗漏比较
机译:高级SI蚀刻系统为14nm及以后
机译:新型9.3 µm CO2短脉冲激光辐照牙釉质和牙本质对牙釉质和牙本质的腐蚀和冲洗和自蚀胶黏剂系统的粘结强度
机译:自蚀刻裂缝密封胶与传统裂缝密封胶与全蚀刻或自蚀刻粘合剂系统的微泄漏比较
机译:自蚀刻粘合系统对预蚀刻和非蚀刻搪瓷表面的剪切粘合强度的比较(体外研究)