ダブルゲートプロセスを用いた断熱型量子磁束パラメトロンセルライブラリの設計と動作実証

摘要

ダブルゲートプロセスを用いたAQFPセルライブラリを設計した。ダブルゲートプロセスは上側4層，下側4層を用いて上下にそれぞれAQFP回路を実装することが可能で，AQFP回路を上下に重ねることによって回路密度の向上，3次兀的なセルの配置による配線長の短縮が見込める。設計したセルライブラリを用いて，上側セル，下側セルそれぞれのセルテスト回路を作成し，正常動作と広いマージンを得られた。また，上下のセルが重なった状態のセルテスト回路も同様に，正常動作と広い動作マージンが得られた。このことから，上下にセルを重ねても動作マージンに影響がないことがわかった。