EUV lithography; CAR; photoresist chemistry; RGA; photons; secondary electrons;
机译:通过溶剂化电子产生的双光子吸收DNA敏化:通过分子建模和模拟揭示光化学途径
机译:声子和光子耦合相互作用在固态材料电子配对中的作用
机译:远程相互作用对电子的光子激励ETA配对的作用
机译:在EUV曝光期间与光致抗蚀剂的化学相互作用来解开光子和电子的作用
机译:EUV光致抗蚀剂暴露的二次电子相互作用
机译:飞秒X射线光谱的化学相互作用和动力学以及X射线自由电子激光的作用
机译:在EUV曝光期间与光致抗蚀剂的化学相互作用来解开光子和电子的作用