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机译:在EUV曝光期间与光致抗蚀剂的化学相互作用来解开光子和电子的作用
Yannick Vesters; Atish Rathore; Pieter Vanelderen; John Petersen; Danilo De Simone; Geert Vandenberghe; Ivan Pollentier;
机译:通过溶剂化电子产生的双光子吸收DNA敏化:通过分子建模和模拟揭示光化学途径
机译:声子和光子耦合相互作用在固态材料电子配对中的作用
机译:远程相互作用对电子的光子激励ETA配对的作用
机译:揭示光子和电子在EUV曝光过程中与光致抗蚀剂发生化学相互作用时的作用
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机译:飞秒X射线光谱的化学相互作用和动力学以及X射线自由电子激光的作用
机译:在EUV曝光期间揭示二次电子与光致抗蚀剂相互作用的作用
机译:通过电子束曝光改性化学放大光致抗蚀剂的方法和设备
机译:电子束曝光修饰化学增强的光致抗蚀剂的方法和装置
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