LWR; PSD; FinFET; SAQP; EUV; planar-TEM; CD-SEM; Reference metrology;
机译:使用聚焦离子束和平面透射电子显微镜作为参考计量学的先进半导体特征的线宽粗糙度
机译:通过多种方法编程的线宽粗糙度计量
机译:工业标准计量对底层粗糙度影响的高级测量和诊断
机译:使用FIB和Planar-TEM作为参考计量,线宽粗糙度的高级半导体功能
机译:半导体线边缘粗糙度的扫描探针计量。
机译:工业标准计量对底层粗糙度影响的高级测量和诊断
机译:高级测量和诊断对工业标准计量底层粗糙度影响的影响