Optical inspection/metrology; through-focus scanning optical microscopy (TSOM); 3D inspection/metrology; adaptive optics; deformable mirror; tip/tilt mirror; Shack-Hartmann sensor;
机译:使用通过聚焦扫描光学显微镜的光学显微镜照明分析
机译:双浮动变量测量应用中的通过聚焦扫描光学显微镜统计特征分析
机译:基于通过聚焦扫描光学显微镜的高灵敏度的多个参数纳米级测量
机译:具有自适应光学器件的通过聚焦扫描光学显微镜(TSOM)
机译:自适应光学两光子扫描激光荧光显微镜。
机译:使用全焦点扫描光学显微镜的光学显微镜照明分析
机译:通过傅立叶模态方法扫描光学显微镜