Deep Reactive Ion Etching (DRIE); Fabry-Perot; Micro-optical bench; Tunable filter.;
机译:具有受控透射率的深蚀刻MEMS开槽微镜
机译:使用缝隙环谐振器进行低压操作的MEMS光学器件的设计和表征
机译:缝隙对垂直梁MEMS谐振器热弹性品质因数的影响
机译:MEMS调节精细开槽微镜谐振器
机译:基于MEMS技术的可调谐光学微镜开关的分析,制造和性能测量。
机译:开槽音叉MEMS谐振器的频率稳定性和热弹性效应分析
机译:具有高Q陶瓷同轴谐振器和商用RF-MEMS可调数字电容的微型800-1100-MHz可调滤波器