Bonding; Wafer scale integration; Annealing; Silicon; Force; Wafer bonding;
机译:使用柱状凸点和光敏胶的简化低温晶圆级混合键合,用于三维集成电路集成
机译:密封包装中使用电镀金层的低温硅晶圆级热压接
机译:密封包装中使用电镀金层的低温硅晶圆级热压接
机译:用于三维晶片级集成的低温晶片键合
机译:镶嵌图案化的金属/胶粘剂晶圆键合,用于三维集成。
机译:金膜厚度和表面粗糙度对室温晶圆键合和金-金表面活化键合的晶圆级真空密封的影响
机译:用于三维晶片级集成的低温晶片键合