Young's modulus; Gold; Micromechanical devices; Resonant frequency; Accelerometers; Silicon; Microelectromechanical systems;
机译:用于MEMS的电镀Ni薄膜的杨氏模量
机译:直接比较测针和共振方法以确定单层和多层MEMS悬臂梁的杨氏模量
机译:使用电镀金层的RF-MEMS器件的晶圆级密封包装
机译:MEMS装置电镀金悬臂的杨氏模量研究
机译:在超导射频(RF)微机电(MEM)开关中用作致动膜的金薄膜的弹性模量研究
机译:MEMS应用中多层膜杨氏模量的一种简单提取方法
机译:直接比较测针和共振方法以确定单层和多层MEMS悬臂梁的杨氏模量
机译:mEms电容式悬臂应变传感器,器件和形成方法。