MEMS双安定光位相変調素子-スパッタ堆積Al薄膜による片持ち梁停止板設計

摘要

MEMS双安定光位相変調素子の光位相多重多値ホログラフィーメモリ技術への応用を想定し,この双安定光位相変調素子の構成要素のスパッタ堆積Al薄膜片持ち梁停止板の設計検討を行った。