LTCC 基板を使った準ミリ波帯ハイブリッドMEMS フェイズドアレイアンテナの基礎検討

摘要

今日、IoT 無線通信が汎用化するに従って、高性能な通信技術としてフェイズドアレイアンテナ(PAA)に注目が集まっている。PAA は入力するRF 信号の位相を電気的に制御してアンテナ指向性を変化させる技術であり、機械構造を持たないために長期にわたって安定である。我々は以前に高周波で低損失なMEMS スイッチを用いた準ミリ波帯移相器の試作評価を行ったが、めっきプロセスに必要な配線パターンが移送回路のインピーダンスに悪影響を与えたことから反射損失が増大するという問題があった。今回、回路パターンを見直して、より低損失な移相器を実現することにした。我々は、先にMEMS スイッチを搭載する基板としてVia 作製が容易なLTCC 基板を用いて移相器を作製したが、基板表面の粗さが大きいために大きなスイッチ駆動電圧を必要とした。今回、基板の改善によってスイッチ電極間のギャップを6 μmから2.2 μm に縮小して駆動電圧の低減をはかった。この移送器を用いてハイブリッドPAA の試作評価を行った。