Bandwidth; Integrated design; Magnetic levitation; Coils; Servomotors; Frequency measurement; Capacitive sensors;
机译:基于挠曲的磁悬浮双阶段系统,用于高带宽定位
机译:磁悬浮并联双阶段(Maglev-PAD)系统,用于六轴精密定位
机译:粗/细双阶段定位系统精细平台的集成伺服机械设计
机译:用于磁悬浮双级定位系统的次级级的集成设计
机译:基于范围的双级系统控制:用纳米定位阶段的应用设计与分析
机译:精确的磁传感器系统集成设计
机译:用于磁悬浮精细定位阶段的双曲磁场音圈致动器的设计,分析和测试