熱雑音抑制型サンプルホールド回路を用いたイオン飛行時間計測用SOIイメージセンサ

摘要

バイオ•医療分野では、様々な物質の質量毎の空間分布の同時測定技術は、病理研究や迅速な病理診 断などへの応用が期待できる。イメージング質量分析において、イオンの衝突位置と時間を同時に高空間分解能· 高時間分解能かつ高頻度で検出可能なイオン時間計測センサの開発が重要である。本研究では、ランプ信号からイ オン到達時間に即した電圧レベルを取得するピクセルの開発を行う。このとき、熱雑音のホールドが問題となる。 そこで、ランプ信号とソフトリセット機構を連動させて熱雑音を抑制する機構を提案する。SOIプロセスにより、 サイズ20um×20umのピクセル回路を設計した。