Directed self-assembly (DSA); Block copolymer (BCP); High chi BCP; Si-containing; Topcoat free; Graphoepitaxy; Perpendicular lamella;
机译:无表面涂层,易于集成的高x嵌段共聚物的定向自组装
机译:无面涂层,易于集成的高χ嵌段共聚物的定向自组装
机译:高χ,含硅嵌段共聚物和指导其自组装的工艺策略
机译:定向自组装的含Si和面漆免费嵌段共聚物
机译:嵌段共聚物和三元嵌段共聚物/均聚物共混物在化学图案化表面上的定向自组装成面向装置的几何形状。
机译:用于制造功能装置的嵌段共聚物的定向自组装
机译:直接的自组装免费,一体化友好友好的高 - ^ ^ Chi;嵌段共聚物