Mosquito法によるポリマー光導波路作製時のコアの形成高さ解析?制御と低損失光結合の実現

摘要

ハイパフォーマンスコンピュータのさらなる高性能化のため，オンボード光インターコネクトの導入が検討され，そのオンボードの高密度光配線を実現する素子として，マルチモードポリマー光導波路が期待されている.我々がポリマー光導波路作製手法として提案しているMosquito法では，自由なコア配列が可能となり，3次元光配線の実現が期待される.本研究では，Mosquito法にて，ポリマー光導波路を作製する過程で重要となるコア高さ制御について理論的に検証する.さらに，3次元光配線の一例として，ポリマー光導波路端に形成した45°ミラーによる光結合に着目し，コア高さが光結合特性に与える影響について実験的に検証した結果について報告する.