磁性ガーネットを用いたレーストラック型オンチップ光アイソレータの開発

摘要

膜の上部にYIGを成膜し全体を熱処理することで，多結晶CeYIGが得られ，アイソレーション値13dB程度の光アイソレータとして動作することが確認された。これにより，CeYIGの成長は，YIGの結晶化による影響を強く受けており，YIGがCeYIGよりも先に結晶化していることが明らかになった。同時に，プロセス開発の面から見ると，YIGをCeYIG上部に成膜することでも，大きな磁気光学効果が得られたことから，先行研究で用いられていたような2段階成膜を行う必要が無くなり，形成プロセスを簡略化できることが示された。講演では，基板の違いによって生じるCeYIGの結晶構造の変化，及び，詳しい形成条件等について述べる。