Fe-B合金膜の構造と磁歪の関係

摘要

Fe_(87)B_(13)合金膜を多結晶および(001)単結晶VC下地層上に形成し，基板温度が構造と磁歪特性に及ぼす影響を調べた.RTで形成した膜は非晶質から構成されたのに対して，基板温度の上昇に伴い結晶化が促進され，300および600°Cで形成した膜では非晶質と結晶が混在した.膜構造に関わらず，平坦な表面を持つ膜は同程度の磁歪値を示したのに対して，表面起伏が大きな膜は膜の連続性が失われ，磁歪値が低下してしまう傾向が認められた.