触覚提示用の圧電膜の研究

摘要

今回、3つのPb量の違うPZTターゲットでスパッタ成膜をして、良好な条件を探した結果、ゾルゲル法で成膜された高品質な薄膜に劣らないぐらいの条件を見つけることができた。また、ゾルゲル法によるPZT成膜を用いたデバイスの試作も行い、性能評価も実施した。