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衛星搭載SiC鏡体の品質評価:鏡体表面の熱膨張特性のバラツキによる鏡面精度への影響

机译:配备卫星镜子的质量评估:镜面热膨胀特性的影响通过变化对镜面精度进行镜面精度

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摘要

SiC製鏡体の熱膨張特性のバラツキが鏡面精度に及ぼす影響を検討した. ⅰ)汎用FEAソフトウェアを用いた鏡面精度の評価手法を確立した. ⅱ)FEAによるケーススタディにより,CTEバラツキ主要因子に因る鏡面ズレを定量的にまとめ,その予測式をたてた. ⅲ)市販の熱膨張計装置による切り出しサンプルの実測CTEデータを用いて,高精度の鏡面ズレ評価を実証した.
机译:检查了SiC镜的热膨胀特性的热膨胀特性对镜面精度的影响。i)使用通用FEA软件建立了镜面精度的评价方法。II)FEA案例研究主要因素CTE变化的凹凸偏移量是定量总结的,并且其预测公式进行了。III)通过市售的热膨胀仪使用切口样品的测量的CTE数据提供高度精确的镜像换档评估。

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