CMOS image sensors; Doping; Implants; Plasmas; Radio frequency; Surface treatment; Three-dimensional displays; 3D NAND; CMOS Image Sensor; Deep Trench Isolation; Ion Implantation; Plasma Doping; Secondary Ion Mass Spectroscopy (SIMS);
机译:脉冲电感耦合等离子体中三维高纵横比硅结构蚀刻模型
机译:电子等离子体:小长宽比环形实验中的限制和模式结构
机译:用XPS分析等离子聚合和等离子诱导气相接枝工艺获得聚合物微结构中高纵横比的沟槽
机译:等离子体掺杂高纵横比结构
机译:使用六氟化硫/氧等离子体在硅中蚀刻高深宽比结构。
机译:共掺杂TiO2纳米棒中微观结构和磁行为的掺杂浓度依赖性
机译:极端比率ZnTe和Znse纳米结构的合成及原位掺杂
机译:Gaas中si掺杂的n掺杂 - 本征-p-掺杂 - 本征(nipi)结构的电子特性。