稠密面配向CoPt合金スパッタ薄膜の原子積層構造および一軸結晶磁気異方性

摘要

高い一軸結晶磁気異方性(K_u)を備えた材料開発の一つの指針として，規則相の探索が有望視されている.稠密面配向Co-Pt合金スパッタ薄膜においては，平衡状態では形成されないスパッタ膜特有の構造としてCo_(75)Pt_(25)組成近傍でm-D0_(19)型構造，Co_(50)Pt_(50)組成近傍でL1_1,型構造の存在が超格子回折線の観測を根拠として報告されている.しかしながらこれらの実験報告によると試料の規則度は大きくても0.6程度であり，各サィトの原子まで特定した構造解析は行われていない.著者らは稠密面配向Co-Pt合金薄膜では，膜面と平行に積層欠陥が導入されやすいこと，すなわちfcc原子積層とhcp原子積層との形成安定性が拮抗していることを別途見出しており，そのような合金系でも規則相が存在するのか興味が持たれる.本研究では，超格子回折線が観測されるCo-Pt合金スパッタ薄膜に形成される原子積層構造について，プローブ径1A以下の走査型透過電子顕微鏡の高角散乱環状喑視野法（HAADF法）にて直接評価したので報告する.