基板温度がNd-Fe-B薄膜の構造に及ぼす影響

摘要

Nd_2Fe_(14)B合金は(BH)_(max)が極めて高い磁性材料であり，その薄膜はマイクロモータやMEMSなどへの応用に向けて研究されている.これまで，ガラス基板，金属基板や単結晶基板を用いてNd_2Fe_(14)B薄膜が形成され，構造や磁気特性が調べられている薄膜構造は形成温度により敏感に影響されることが考えられる.本研究では，単結晶基板上にヘテロエピタキシャル成長させたFe下地層上に温度を変えた条件でNd-Fe-B膜を形成し，基板温度が磁性膜構造に及ぼす影響を系統的に調べた.