室温作製原子層積層スパッタ堆積Co/Pt膜の磁気特性

摘要

次世代高密度記録媒体には1×10~7erg/cm~3以上の大きな磁気異方性と800emu/cm~3程度以上の高飽和磁化M_sを持つことも必要である.L1_1CoPt規則化合金はこれらの条件を満たす.しかし，高磁気異方性を得るためには，250°C以上での作製が必要である.我々はコリメータを用いたCo/Pt膜の原子層積層スパッタ堆積により，室温作製で高M_s，高異方性磁界H_k(M_s=870emu/cm~3,H_k=15kOe)の垂直異方性膜を得た.ここでは，原子層積層膜と単純なCo/Pt積層膜との違いを調べた.