MOEMS; quasi-static scanner; closed-loop control; MEMS driver; electronics; MEMS;
机译:MOEMS反射镜的紧凑光学位置反馈方案
机译:微型夹具可精确定位MOEMS陀螺仪中的120度硅双镜
机译:共振MOEMS反射镜的位置编码和相位控制
机译:准静态2D MOEMS反射镜的光学位置反馈
机译:分析在环路中具有反馈和双折射光纤的非线性光学环路镜。
机译:在反射模式下使用位置敏感检测器(PSD)进行高动态和高精度光学测量:在智能表面上进行2D物体跟踪的应用
机译:1.2 - 谐振2D-MOEMS镜的位置编码和相位控制