EUV resist material; polymer bound PAG; LWR;
机译:用于EUV和EB光刻的PAG胶粘剂的PAG研究
机译:基于主干中具有光酸产生剂(PAG)的聚合物的EUV抗蚀剂的改进光刻性能
机译:CA抵抗侧链PAG组的EUV抵抗
机译:EUV抗蚀剂含酸放大器的新型PAG研究
机译:超材料增强型电阻壁放大器的理论,计算和实验研究。
机译:高敏感性抗蚀性对EUV光刻进行抗衡性:材料设计策略和绩效结果综述
机译:EUV和EB光刻PAG粘结抗蚀剂的PAG研究
机译:EUV抗蚀剂材料的关键挑战。