Aluminum oxide; Cleaning; Rough surfaces; Surface morphology; Surface roughness; Surface treatment; Al2O3; Ge; Interfacial layer; Post Anneal Deposition;
机译:高K界面层GeO_2层的优化和定标:锗栅堆叠和GeO_2介电常数的提取
机译:使用具有超薄SiO2-ALN的高k电介质叠层在4H-SIC MOSFET中获得的改进的装置特性作为界面层
机译:HfSi_xO_y界面层效应对改善超薄高K TiO_2栅介质的电特性的影响
机译:湿法化学清洗对锗(Ge)和高k电介质之间超薄界面层形成的影响
机译:使用远程等离子体化学气相沉积沉积外延硅/硅锗/锗和新型高k栅极电介质。
机译:具有高K原子层沉积介电材料绝缘层的CMUT
机译:基于氮化物界面层的具有高k栅极电介质叠层的锗mOsFET的设计,制造和表征