short beam; Fishbone-shaped MEMS resonator; finer tuning; resonance frequency;
机译:基于多物理场仿真的鱼骨形微机电系统谐振器可变谐振频率选择
机译:利用鱼骨形微机电系统谐振器的高阶振动模式频率调谐
机译:用双边界元法对射频微机电系统器件驱动力的间隙,指宽比和行进距离变化的数值研究
机译:短束长和间隙距离对鱼骨形微机电系统谐振器谐振频率的影响
机译:间隙对梁弹簧接触系统的频率响应的影响。
机译:基于超高频微机电谐振器的纳米组装聚电解质薄膜涂层的高灵敏度湿度传感器
机译:基于两个正交硅束的微机电系统谐振器的设计与制造用于监测在线磁场的集成镜