机译:脉冲化学气相沉积氮化铝以减少颗粒形成的数值研究
机译:前驱体有机金属化学气相沉积[Me2Al(¥ì-NHR)] 2(R = iPr,tBu)初步形成氮化铝膜的研究
机译:氮化铝化学气相沉积中颗粒的布朗动力学研究
机译:氮化铝脉冲化学气相沉积的数值研究,降低颗粒形成
机译:氮化铝和氮化硅的低温热化学气相沉积和催化化学气相沉积
机译:N2:(N2 + CH4)比在低温等离子体增强化学气相沉积法生长疏水纳米结构氢化氮化碳薄膜中的作用研究
机译:通过氧化铝覆盖的磷脂含磷氧化物的脉冲流等离子体增强的化学气相沉积优异的硅表面钝化钝化硅表面