Sub-nanometer calibration of line width measurement and line edge detection by using STEM and sectional SEM

机译：使用STEM和截面SEM对线宽测量和线边缘检测进行亚纳米级校准

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The novel method of sub-nanometer accuracy (uncertainty) for the line width measurement and line edge detection usingSTEM (Scanning Transmission Electron Microscope) images is proposed to calibrate CD-SEM line width measurementand standardization of line

机译：提出了一种新的亚纳米精度（不确定度）测量线宽和使用STEM（扫描透射电子显微镜）图像进行线边缘检测的方法，以校准CD-SEM线宽测量和线标准化

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来源
《Conference on metrology, inspection, and process control for microlithography XXVI》|2012年|P.0X.1-0X.7|共7页
会议地点
作者
Kiyoshi Takamasu; Haruki Okitou; Satoru Takahashi;
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正文语种
中图分类光刻、掩膜;光刻、掩膜;
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