Non-contact measuring; Displacement sensor; Diffraction grating metrology system; piezoelectric actuator;
机译:基于光纤斑曲线图近场特征的精密非接触式位移传感器
机译:传感器:航空航天应用中的非接触式位移测量
机译:惯性微机械(MEMS)传感器在精密位移测量中的应用
机译:高精度电容式位移传感器在非接触式精密位移测量中的研究
机译:超精密,光学店和对准应用的非接触计量
机译:双激光多普勒测振仪的高精度非接触式动态角位移测量设计
机译:非接触式位移传感器使用非晶线芯多谐振荡器及其在MechencardoGraph的应用。
机译:用于非接触式轴承的径向位移传感器