スパッタリング用Nd-Fe-B焼結ターゲットの開発と永久磁石膜を備えたリニァモーターの試作

摘要

Nd_2Fe_(14)B基の薄膜は、永久磁石材料としてのポテンシャルの高さから、将来はMEMS技術で製作される磁 気デバイスへの応用が期待されている。我々は、先にマグネトロンスパッタを使いNd-Fe-B/Ta多層膜構成で 焼結磁石に匹敵する磁気エネルギー積を実現し、MEMSデバイスのプロトタイプの開発を行っている。 本講演では、安定した高性能薄膜の形成に必要なNd-Fe-B基焼結ターゲットの試作結果と焼結ターゲットを 用いて作製した薄膜を使った磁気デバイスの検討結果を報告する。