スパッタリング用Nd-Fe-B焼結ターゲットの開発と永久磁石膜を備えたリニアモーターの試作

摘要

我々は、先にマグネトロンスパッタを使いNd-Fe-B／Ta多層膜構成で焼結磁石に匹敵する磁気エネルギー積を実現し、MEMSデバイスのプロトタイプの開発を行っている。本講演では、安定した高性能薄膜の形成に必要なNd-Fe-B基焼結ターゲットの試作結果と焼結ターゲットを用いて作製した薄膜を使った磁気デバイスの検討結果を報告する。