2次共振(SR)-MFMによる垂直磁気記録へッドの磁場分布観察

摘要

ハードディスクをはじめとした磁気記録の高密度化に向けて、磁気記録へッド及び磁性薄膜の磁気 特性を高空間分解能で磁場イメージングする手法の研究が進められている。秋田大の齊藤等は、交流磁場を直接観察することが可能なFM変調磁気力顕微鏡(Frequency-Moderation (FM)-MFM)を用いて、ハードディ スクの磁気記録へッドに交流電流を印加した際の磁気記録へッドから発生する交流磁場像を報告している 。我々は、カンチレバーの2次共振を利用して磁気イメージングを行うSecondary Cantilever Resonance MFM (SR-MFM)を開発し、垂直磁気記録ヘッドの交流磁場分布を観察したので報告する。また、カンチレ バーの保磁力を超える漏れ磁場が発生するような条件で、垂直磁気記録へッドを駆動させた際のSR-MFM像 を観察したので併せて報告する。