Breakthrough for CW management and operation model in 200mm FAB by specialization technician

机译：专业技术人员突破200mm FAB的CW管理和运营模式

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• Introduction • Key Tasks & Their Benefits ▪ Central Monitor Center ▪ Specific Monitor Group ▪ Auto-sorter ▪ Pre-measurement Value Inheritance ▪ MMHS for Control Wafer Transports • Conclusions & Discussion

机译：•简介•关键任务及其收益▪中央监控中心▪特定监控组▪自动分类器▪预测量值继承▪用于控制晶圆运输的MMHS•结论与讨论

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来源
《2011 International Symposium on Semiconductor Manufacturing and e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》|2011年|p.1-18|共18页
会议地点
作者
Chen Y H; Wang C L; Ho M Y;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类半导体技术;
关键词

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