source-mask optimization; computational lithography; process variations; DoF; MEEF; pixelated source; mask correction;
机译:热力和功率有机朗肯循环的数值优化-B部分:同时设计和部分负荷优化
机译:结合响应面方法和数值方法优化马尔可夫模型
机译:高效液相色谱法同时估算散装毒品中吲哚酰胺和吲哚普利及其混合剂型的多标准优化方法
机译:同时源掩码优化:数值组合方法
机译:互连蒸馏塔系统同时求解的数值方法。
机译:优化传染病监测的DIOS框架:监控网络架构的仿真和多目标优化的数值方法
机译:太空飞机设计及其飞行轨迹同时优化的数值方法研究。
机译:通过优化雅可比矩阵范数和相关量实现有限元网格质量,第1部分 - 表面网格优化框架;国际期刊工程数值方法