In-situ Vacuum Measurement; Low Temperature Co-fired Ceramic (LTCC); Microchannel; Pirani Gauge; System-in-Package (SiP); Vacuum Packaging;
机译:微型皮拉尼真空计,用于超小型真空包装的真空测量
机译:使用玻璃上硅和溶解晶圆工艺的Pirani真空计用于MEMS真空包装的表征
机译:延长沉积应用中的全压真空计的使用寿命(延长真空计的使用寿命)
机译:具有多功能LTCC基板的真空/气密封装和3D SIP集成应用的集成Pirani真空计
机译:在柔性基板上的设备级真空包装的微辐射热计。
机译:如何构建用于旋转转子规的真空弹簧运输套件
机译:基于高敏感的小型覆盖物VOX基微量Pirani计,用于原位监测真空晶圆级包装钻孔仪
机译:用于监测低真空的Bakable玻璃皮拉尼量规