BPSG; P and B depth profile; TOF-SIMS;
机译:大气压化学气相沉积法从TEOS,O_3,TMB,TMP_i沉积BPSG膜:化学机理的确定
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机译:钌-磷和钌-硼玻璃态结构的第一性原理预测以及非晶态钌-硼合金薄膜的化学气相沉积
机译:TOF-SIMS表征大气化学气相沉积硼磷硅玻璃(SA-CVD BPSG)膜中硼和磷的分布
机译:未掺杂和三氧化硼/五氧化二磷掺杂的锗硅酸盐玻璃薄膜的沉积,表征,回流和分析。
机译:通过原子层沉积和化学气相沉积在高纵横比结构中沉积的薄膜的ToF-SIMS 3D分析
机译:高掺杂硼磷硅酸盐玻璃(BPSG)直接接触过程的氟效应研究
机译:用(a,p)反应分析薄硼硅酸盐玻璃薄膜中硼和磷的同时核反应