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机译:钌-磷和钌-硼玻璃态结构的第一性原理预测以及非晶态钌-硼合金薄膜的化学气相沉积
Univ Texas Austin, Dept Chem Engn, Austin, TX 78712 USA;
Univ Texas Austin, Dept Chem Engn, Austin, TX 78712 USA|KCC Cent Res Inst, Gyunggi Do, South Korea;
Univ Texas Austin, Dept Chem Engn, Austin, TX 78712 USA;
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Amorphous thin film; Ruthenium alloy; Copper diffusion barrier; Boron; First-principles density-functional calculations;
机译:化学气相沉积非晶态钌-磷合金薄膜
机译:钌-磷合金薄膜的化学气相沉积:以磷化氢为磷源
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