AlN; aluminum nitride; microstructure; molybdenum; reactive sputtering;
机译:RF反应溅射在不同压力下沉积的AlN薄膜的组织演变
机译:脉冲直流反应溅射对氮化蓝宝石衬底上823K沉积AlN膜的溅射压力和结晶品质的影响。
机译:溅射功率对脉冲直流反应溅射沉积AlN薄膜表面特性和晶体质量的影响
机译:AC反应溅射沉积压电ALN薄膜的微观结构
机译:在高温“智能”摩擦应用中,在封闭场不平衡磁控溅射中反应性沉积的氮化铝压电薄膜。
机译:磁控溅射沉积金属V薄膜的微观结构和氧化行为
机译:rf反应磁控溅射在低温下沉积在Si上的压电Aln薄膜的表征
机译:基体组成对反应溅射alN薄膜压电响应的影响;薄固体薄膜