Mo/Si multilayers; EUV lithography; out of band radiation;
机译:高效的Al / SC基多层涂层在EUV波长范围内以上40纳米
机译:用于EUV光谱范围的宽带多层镜的组成,合成和研究的优化
机译:界面优化的Mo / Si多层作为EUV光谱范围的反射器
机译:适用于应用作为相位延迟器和软X射线和EUV的光谱纯度过滤器的独立式多层薄膜,用于适用于柔软X射线和EUV范围内的相延迟器和光谱纯度过滤器的独立式多层膜
机译:用于光刻的DUV和EUV光掩模中非平面相和多层缺陷的快速仿真方法。
机译:基于多孔多层膜的可调谐滤光器具有宽波长范围
机译:纳米级EUV和软X射线多层光学器件的光谱定制